DF(氟化)激光混合氣。DF(氟化)化學(xué)激光器是在特定的環(huán)境下將氟和混合形成激發(fā)態(tài)的激光器。DF激光器比起傳統(tǒng)的HF()激光器能產(chǎn)生更長的波長,這樣可以更有效地在大氣中傳送。激光混合氣的組成與精度的影響。氣體激光器的種類繁多,激光混合氣的品種、規(guī)格也較多。對于激光混合氣的組成與精度都有嚴(yán)格的要求。氣體激光器的重要特點(diǎn)之一,激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此,對激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進(jìn)行干燥處理,防止污染混合氣。
激光混合氣切割碳鋼時一般使用氧氣起到冷卻切邊和加速燃燒碳鋼己提高切割速度。當(dāng)然,當(dāng)鋼瓶厚度薄,對切割質(zhì)量要求不高時可以用干燥空氣替代高純氮?dú)獾容o助氣體。使用激光混合氣注意事項(xiàng);每瓶二氧化碳激光混合氣在使用到尾氣時,應(yīng)保留瓶內(nèi)余壓在0.5MPa,小不得低于0.25MPa余壓。激光混合氣中二氧化碳是產(chǎn)生激光的,氦氣是冷卻激光器的,氮?dú)馐瞧胶鈿怏w,氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對激光機(jī)的鏡片損傷特別大,能快速減少鏡片的壽命。
激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體,對氣體質(zhì)量要求高,激光混合氣配制精度要求高,高純二氧化碳純度達(dá)99.999%,高純氮?dú)獾募兌?9.999%,高純氦氣的純度要求99.999%,二氧化碳是產(chǎn)生激光的,氦氣是冷卻激光器的,氮?dú)馐瞧胶鈿怏w,氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對激光機(jī)的鏡片損傷特別大,能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對這些氣體的質(zhì)量要求特別高。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光,可稱為第三代激光。激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能,特別是氣體中氧、水、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損,還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。
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